高目數的砂紙，如 400# 及以上，磨粒非常細小且排列緊密。在磨樣時，每個磨粒去除的材料量很少，因此整體上去除材料的速度相對較慢。這是因為細砂紙的主要作用不是快速去除大量材料，而是對已經經過粗磨的試樣表面進行精細打磨和拋光，以提高表面光潔度和降低表面粗糙度。

像合金鋼、硬質合金等硬度較高的材料，需要先用低目數的砂紙進行粗磨，以有效去除材料，可選擇 40# - 80# 的砂紙進行初始磨樣，將表面的氧化層和不平整部分快速去除后，再逐步使用較高目數的砂紙進行后續(xù)打磨。

粗磨
安裝砂紙：將選好的低目數粗砂紙平整地安裝在磨樣機的砂盤上，確保砂紙無褶皺、無松動，與砂盤緊密貼合。如果是手工磨樣，可將砂紙平鋪在平整的工作臺面上。
開始磨樣：啟動磨樣機，讓砂盤以適當的轉速旋轉。手持試樣，將其均勻地壓在砂盤的砂紙上，施加適中的壓力。壓力要根據試樣的材質和硬度來調整，以既能有效磨削又不會使砂紙過度磨損或試樣變形為宜。磨樣時保持試樣與砂紙表面垂直，按照一定的方向進行磨削，一般以直線或圓周運動方式進行，盡量保持磨樣方向的一致性，不要隨意改變方向或來回擺動，以獲得均勻的磨削效果。
觀察進度：在粗磨過程中，要經常觀察試樣表面的磨削情況，及時去除表面的氧化皮、毛刺和不平整部分。當試樣表面大部分不平整區(qū)域被去除，達到初步平整狀態(tài)時，粗磨階段結束。

細磨和精磨
更換砂紙：粗磨完成后，關閉磨樣機，更換為較高目數的砂紙，按照從低目數到高目數的順序依次進行細磨和精磨。每次更換砂紙時，都要將砂盤和試樣表面清理干凈，防止粗砂粒等雜質混入，影響細磨和精磨效果。
調整參數：隨著砂紙目數的增加，磨樣時施加的壓力應逐漸減小，避免過度磨削導致表面損傷。同時，磨樣機的轉速也可根據需要適當調整，一般來說，高目數砂紙磨樣時轉速可以稍低一些，以磨樣質量。
完成磨樣：按照與粗磨相同的操作方法，使用不同目數的砂紙逐步對試樣進行細磨和精磨，直到試樣表面達到光譜分析所要求的平整度和光潔度。在精磨階段，要特別注意觀察試樣表面的質量，確保表面無明顯劃痕、凹坑等缺陷。

粒度是指磨料顆粒的實際尺寸大小，通常用微米（μm）作為單位來表示。比如，某磨料顆粒的粒度為 50μm，就意味著該顆粒的平均尺寸為 50 微米。

目數與粒度之間存在著反比例關系。目數越高，說明篩網的孔越細，能通過篩網的磨料顆粒就越小，即粒度越小。反之，目數越低，篩網的孔越大，通過的磨料顆粒就越大，粒度也就越大。在實際應用中，存在一些經驗性的目數與粒度對應數據，如 100 目的砂紙，其磨料粒度大約為 150μm；200 目的砂紙，粒度約為 75μm；400 目的砂紙，粒度約為 38μm 等。但不同廠家生產的砂紙可能會存在一定的差異。