潔凈車間,亦稱潔凈室、無(wú)塵車間、無(wú)塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒(méi)有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。
在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
潔凈技術(shù),即玷污控制(Contamination Control)技術(shù)。指的是:對(duì)象(產(chǎn)品、人及動(dòng)物)在被加工、處置、治療、防護(hù)及實(shí)驗(yàn)等過(guò)程中,對(duì)其所處環(huán)境內(nèi)玷污物(影響對(duì)象的加工、處置、治療等質(zhì)量、合格率或成功率的物質(zhì))進(jìn)行控制的技術(shù)。
玷污物的污染包含對(duì)產(chǎn)品的損害和對(duì)人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的大發(fā)源地:靜坐時(shí),人體每分鐘散發(fā)10萬(wàn)個(gè)粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細(xì)胞,一年脫落人體細(xì)胞約3.5公斤。
半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)微污染來(lái)源,經(jīng)測(cè)試,作業(yè)人員占80% 。
十萬(wàn)級(jí)GMP潔凈車間對(duì)不同的對(duì)象,有不同的玷污物控制要求。
潔凈無(wú)塵車間建設(shè)按照等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)可以分為十級(jí)潔凈室、百級(jí)無(wú)塵車間、千級(jí)無(wú)塵車間、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間、十萬(wàn)無(wú)塵車間等好幾種等級(jí)。
浮塵總數(shù)被嚴(yán)控在每立方1000個(gè)之內(nèi),這也就是業(yè)界別名級(jí)別中的千級(jí)無(wú)塵車間。現(xiàn)階段運(yùn)用在射頻收發(fā)器生產(chǎn)制造的潔凈規(guī)范針對(duì)塵土的規(guī)定高過(guò)A級(jí),那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級(jí)別較高芯片生產(chǎn)上。裝配式建筑無(wú)塵車間工業(yè)廠房的所有檢修加工廠內(nèi)按統(tǒng)一變位系數(shù)及系列加工進(jìn)行。