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2、惰性保護:惰性保護介質,速凍食品;
3、制冷劑:低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑;
4、電子工業(yè):電子工業(yè)中的外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等;
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