電子工業(yè)半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體芯片制造過程中,氫氣被廣泛應(yīng)用于多個環(huán)節(jié)。例如,在硅片的清洗工藝中,氫氣等離子體可用于去除硅片表面的雜質(zhì)和氧化物,硅片表面的清潔和活性。在化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝中,氫氣作為載氣和反應(yīng)氣體,參與薄膜的生長過程,有助于提高薄膜的質(zhì)量和性能。
粉末冶金:在粉末冶金生產(chǎn)中,氫氣用于還原金屬粉末,如鐵粉、銅粉等,以去除粉末表面的氧化物,提高粉末的純度和活性。同時,在燒結(jié)過程中,氫氣作為保護氣體,防止金屬粉末在高溫下被氧化,燒結(jié)制品的質(zhì)量。
通過機器學(xué)習(xí)算法,如神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、支持向量機等,建立的儲氫狀態(tài)預(yù)測模型,能夠更準(zhǔn)確地預(yù)測儲氫容器的壓力、溫度變化趨勢,及時發(fā)現(xiàn)異常情況。實施數(shù)據(jù)融合技術(shù):將來自不同傳感器的數(shù)據(jù)進行融合處理,綜合分析多個參數(shù)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系,提高對儲氫狀態(tài)判斷的準(zhǔn)確性。