【SIMS測試】
服務(wù)背景:半導(dǎo)體行業(yè)需監(jiān)控晶圓中ppb級摻雜元素分布。
檢測重要性:揭示離子注入濃度剖面,影響晶體管閾值電壓。
檢測周期:7-10個工作日(含深度剖析)。
廣電計量能力:
1、賽默飛二次離子質(zhì)譜,深度分辨率<5nm;
2、檢測硅片中硼元素梯度分布(檢出限0.1ppb);
廣電計量擁有的化學(xué)分析檢測設(shè)備和的人才隊伍。能力范圍覆蓋提供有毒有害物質(zhì)檢測(RoHS、REACH、POPs、VOC,消耗臭氧層物質(zhì)等)、材料成分性能分析、可靠性壽命預(yù)計、食品接觸材料等多領(lǐng)域測試、評估、認(rèn)證及培訓(xùn)服務(wù)。
【TPD化學(xué)吸附測試】
背景:1970年代程序升溫脫附技術(shù)(TPD)興起,成為催化劑表面特性研究的利器。
重要性:量化活性位點密度與吸附強度,指導(dǎo)加氫催化劑設(shè)計。
產(chǎn)品類型:鉑碳催化劑、儲氫合金、汽車尾氣凈化劑。
檢測標(biāo)準(zhǔn):ISO 20179(程序升溫還原)。
廣電計量能力:
1、的化學(xué)吸附儀;
2、H?/CO/O?脈沖滴定定量金屬分散度;
3、完成鈀催化劑活性位點密度檢測(12.5 μmol/g)。
【導(dǎo)熱系數(shù)測試】
背景:隨著5G芯片功率密度提升,熱管理材料性能評估需求爆發(fā)式增長。
重要性:導(dǎo)熱系數(shù)是散熱器選型的核心參數(shù),偏差10%可導(dǎo)致器件壽命減半。
產(chǎn)品類型:氮化鋁陶瓷、熱界面材料、碳化硅復(fù)合材料。
檢測標(biāo)準(zhǔn):ASTM E1461(激光閃射法)、ISO 22007-4(熱流計法)。
廣電計量能力:
1、德國NETZSCH LFA 467 HyperFlash?,溫度范圍-100~1100℃;
2、各向異性材料三維導(dǎo)熱分析;
3、動力電池包導(dǎo)熱膠測試精度±3%。
5年