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離子鍍膜，一個(gè)精密的工藝過(guò)程，其核心是離子濺射鍍膜。對(duì)于導(dǎo)電靶，偏壓電源扮演了關(guān)鍵角色，采用直流電場(chǎng)的精密調(diào)控，確保陰極表面的電子被加速，進(jìn)而轟擊氣體分子，引發(fā)電離現(xiàn)象。這個(gè)過(guò)程中，電子被電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)，形成雪崩效應(yīng)，直至氣體被擊穿，形成穩(wěn)定的電離電流，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)離子加速，撞擊靶材，將原子釋放并沉積在樣品表面，形成所需涂層。

偏壓電源，就像熒光燈中的核心組件，它通過(guò)高頻轉(zhuǎn)換電路，以單極性脈沖方式輸出。電源電壓的精細(xì)調(diào)整通過(guò)改變高頻轉(zhuǎn)換電路的輸入電壓實(shí)現(xiàn)，穩(wěn)壓性能高達(dá)1%。這種設(shè)計(jì)允許在工藝所需電壓的同時(shí)，通過(guò)調(diào)整脈沖寬度來(lái)控制工件的加熱效果，適用于各種涂層需求，從工具保護(hù)到裝飾美化。

1．在真空鍍膜機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常情況下，開(kāi)動(dòng)真空鍍膜機(jī)時(shí)，先開(kāi)水管，工作中應(yīng)隨時(shí)注意水壓。
2．在離子轟擊和蒸發(fā)時(shí)，應(yīng)特別注意高壓電線接頭，不得觸動(dòng)，以防觸電。
3．在用電子槍鍍膜時(shí)，應(yīng)在鐘罩外圍上鋁板。觀察窗的玻璃好用鉛玻璃，觀察時(shí)應(yīng)戴上鉛玻璃眼鏡，以防X射線侵害人體。
4．鍍制多層介質(zhì)膜的鍍膜間，應(yīng)安裝通風(fēng)吸塵裝置，及時(shí)排除有害粉塵。
5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。
6．酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)裝置內(nèi)進(jìn)行，并要戴橡皮手套。
7．把零件放入酸洗或堿洗槽中時(shí)，應(yīng)輕拿輕放，不得碰撞及濺出。平時(shí)酸洗槽盆應(yīng)加蓋。
8．工作完畢應(yīng)斷電、斷水。

需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)）形成薄膜。 對(duì)于濺射類鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái)，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過(guò)程，終形成薄膜。