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江蘇東臺(tái)提拉式長(zhǎng)晶爐回收plc編程回收現(xiàn)場(chǎng)報(bào)價(jià)

更新時(shí)間:2025-09-21 [舉報(bào)]
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直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、專利名稱:直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐。背景技術(shù):圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖;圖1-2 中,l為爐筒,2為保溫蓋,3為保溫蓋,4為保溫材津牛,5為保溫罩,6為 加熱器,7為水套,8為石英堝,9為導(dǎo)流筒,IO為爐底護(hù)盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長(zhǎng)過程中需要向爐內(nèi)不斷充入,并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合,由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成, 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上,從而影響了單晶爐的使用壽命。
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數(shù)值仿真是用來獲得廉價(jià)的,完整的和細(xì)節(jié)的結(jié)晶過程,以此方法用來預(yù)測(cè)晶體生長(zhǎng),改善晶體生長(zhǎng)技術(shù)。數(shù)值模擬是當(dāng)實(shí)驗(yàn)的費(fèi)用太昂貴或無法常規(guī)進(jìn)行時(shí)一種非常有用或的方法。舉例來說,對(duì)于無經(jīng)驗(yàn)人員,可以形象化展示熔體流動(dòng)的歷史點(diǎn)缺陷和熱應(yīng)力細(xì)節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達(dá)到較高生產(chǎn)率和較好滿足市場(chǎng)對(duì)晶體直徑,質(zhì)量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計(jì)算機(jī)模擬可以設(shè)計(jì)和優(yōu)化工作流程。通過對(duì)單晶爐熱場(chǎng)的仿真計(jì)算,優(yōu)化設(shè)計(jì)單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu),在拉晶過程中以仿真結(jié)果設(shè)定合理的理論拉晶曲線,可以在實(shí)際生產(chǎn)中是完全可以生長(zhǎng)出合格的單晶棒。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解,下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明,一種連續(xù)拉晶單晶爐,它包括括底座1、主爐室2、副爐室3、下驅(qū)動(dòng)裝置4和上驅(qū)動(dòng)裝置5,所述主爐室2和下驅(qū)動(dòng)裝置4均安裝在底座1上,所述主爐室2內(nèi)設(shè)置有爐室坩堝21,所述下驅(qū)動(dòng)裝置4和主爐室坩堝21相連,以便通過下驅(qū)動(dòng)裝置4驅(qū)動(dòng)主爐室坩堝21升降,所述副爐室3和主爐室2相連通,所述上驅(qū)動(dòng)裝置5安裝在副爐室3的上端,以便通過上驅(qū)動(dòng)裝置5驅(qū)動(dòng)拉晶,其特征在于,它還包括:外部加料器6,所述外部加料器6內(nèi)設(shè)置有加料腔61,所述加料腔61內(nèi)設(shè)置有加料坩堝62,所述外部加料器6的蓋裝有上蓋63;

標(biāo)簽:提拉式長(zhǎng)晶爐回收
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