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為了配合di76．Zmm器件生產(chǎn)線的發(fā)展，我所研制了國(guó)內(nèi)臺(tái)15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過(guò)程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國(guó)原有1公斤、th3orum級(jí)的基礎(chǔ)上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問(wèn)題很多，例如，熱場(chǎng)的設(shè)計(jì)、減壓工藝的設(shè)計(jì)與調(diào)整

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