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真空鍍膜機(jī)為什么會(huì)越來(lái)越慢這種情況有兩種可能
1、設(shè)備內(nèi)部由于長(zhǎng)時(shí)間鍍膜導(dǎo)致有些臟東西在加熱時(shí)放氣,所以這種情況需要維護(hù),即把內(nèi)部屏蔽板拆下噴砂或脫膜,清理。
2、由微小的滲漏,沒(méi)有發(fā)現(xiàn),尤其是各個(gè)傳動(dòng)部位密封,這種情況就是比較難查,如果沒(méi)有檢漏儀,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀察真空計(jì)的變化檢查,但一般漏的不大時(shí)不好判斷,至于你說(shuō)的真空1.9的那個(gè)其實(shí)也并不高,還有就是漏率是按照你的設(shè)備體積以及單位時(shí)間的真空下降程度來(lái)算的不是按照真空值計(jì)算的,比如你的真空泵抽速好,抽氣能力強(qiáng)就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數(shù)值。
鍍膜機(jī)工藝在集成電路制造中的運(yùn)用,鍍膜機(jī)晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(xiàn)(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是選用CVD技能、PVCD技能、真空蒸騰金屬技能、磁控濺射技能和射頻濺射技能??梢?jiàn)氣相堆積術(shù)制備集成電路的核心技能之一。
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