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真空鍍膜設(shè)備存有著氣密性差的問題,假如鍍膜設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)進(jìn)行后,能做一次氣密性試驗(yàn),就可以規(guī)避許多不合格產(chǎn)品的造成,做到節(jié)省成本費(fèi)用的效果。
鍍膜設(shè)備應(yīng)該在高真空下工作,真空值的優(yōu)劣可以直接危害表層的鍍膜的質(zhì)量。有時(shí)鍍膜設(shè)備的真空值抽不出來或是真空值不太好,可能是連接頭松脫或是有焊接發(fā)生脫焊。傳統(tǒng)式的氣密性試驗(yàn)方式應(yīng)該鍍膜設(shè)備關(guān)機(jī),充氮,再在猜測有漏的位置涂上肥皂泡,整個(gè)過程用時(shí)費(fèi)事極易錯(cuò)判,針對微小的泄露沒法檢驗(yàn)。諾益氦質(zhì)譜檢漏儀運(yùn)用氦氣做為示蹤氣體,小漏率低于5E-13Pam3/s,安全環(huán)保,檢漏時(shí)無需關(guān)機(jī),立即在機(jī)械泵的旁通連接測漏儀便可以迅速有效的進(jìn)行檢驗(yàn)了。
真空鍍膜機(jī)為什么會(huì)越來越慢這種情況有兩種可能
1、設(shè)備內(nèi)部由于長時(shí)間鍍膜導(dǎo)致有些臟東西在加熱時(shí)放氣,所以這種情況需要維護(hù),即把內(nèi)部屏蔽板拆下噴砂或脫膜,清理。
2、由微小的滲漏,沒有發(fā)現(xiàn),尤其是各個(gè)傳動(dòng)部位密封,這種情況就是比較難查,如果沒有檢漏儀,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀察真空計(jì)的變化檢查,但一般漏的不大時(shí)不好判斷,至于你說的真空1.9的那個(gè)其實(shí)也并不高,還有就是漏率是按照你的設(shè)備體積以及單位時(shí)間的真空下降程度來算的不是按照真空值計(jì)算的,比如你的真空泵抽速好,抽氣能力強(qiáng)就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數(shù)值。
真空鍍膜機(jī)的工作原理如下:
在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個(gè)重要因素。因此,當(dāng)評價(jià)某薄膜樣品的性能時(shí),需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形,這往往需要進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問題:,不同次生長的樣品,儀器的狀態(tài)不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實(shí)驗(yàn)裝取樣品需要重新進(jìn)行真空的獲得,非常耗時(shí)。增加了生產(chǎn)和檢測的成本。
因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
真空鍍膜機(jī)工作的環(huán)境要求:
真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求,一般包括真空設(shè)備對所處實(shí)驗(yàn)室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求,和對處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。
這兩個(gè)方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用;而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣,要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。眾所周,油封式機(jī)械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應(yīng)的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當(dāng)大量抽除可凝性氣體時(shí),對泵油的污染會(huì)更加嚴(yán)重,結(jié)果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
長期回收真空鍍膜機(jī)鍍膜生產(chǎn)線設(shè)備。
真空鍍膜設(shè)備應(yīng)用十分廣泛,如今在我們的生活中到處可見,是的一項(xiàng)技術(shù)。但是真空鍍膜設(shè)備在使用一段時(shí)間后,表面就會(huì)留下灰塵影響真空鍍膜的整體效果。
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