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真空鍍膜機(jī)詳細(xì)鍍膜方法如下:
1、檢查真空鍍膜設(shè)備各操作控制開關(guān)是否在"關(guān)"位置。
2、打開總電源開關(guān),真空鍍膜設(shè)備送電。
3、低壓閥拉出。開充氣閥,聽不到氣流聲后,啟動(dòng)升鐘罩閥,鐘罩升起。
4、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位,無雜質(zhì)污物。
5、落下鐘罩。
6、啟動(dòng)真空鍍膜設(shè)備抽真空機(jī)械泵。
7、開復(fù)合真空計(jì)電源。
1)左旋鈕“1”順時(shí)針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。
2)低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng),當(dāng)指針移動(dòng)至110mA時(shí),左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。
8、當(dāng)?shù)驼婵毡怼?”內(nèi)指針再次順時(shí)針移動(dòng)至6.7Pa時(shí),低壓閥推入。這時(shí)左旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。
9、真空鍍膜設(shè)備開通冷卻水,啟動(dòng)擴(kuò)散泵,加熱40min。
10、低壓閥拉出。重復(fù)一次⑦動(dòng)作程序:左下旋鈕“1”轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng),當(dāng)指針移動(dòng)至6.7Pa時(shí),開高壓閥。
鍍膜機(jī)工藝在集成電路制造中的運(yùn)用,鍍膜機(jī)晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是選用CVD技能、PVCD技能、真空蒸騰金屬技能、磁控濺射技能和射頻濺射技能??梢姎庀喽逊e術(shù)制備集成電路的核心技能之一。
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