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真空鍍膜機(jī)的工作原理如下:
在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個(gè)重要因素。因此,當(dāng)評(píng)價(jià)某薄膜樣品的性能時(shí),需要檢測(cè)該薄膜樣品不同厚度下的性能。對(duì)于真空鍍膜的情形,這往往需要進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問題:,不同次生長(zhǎng)的樣品,儀器的狀態(tài)不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實(shí)驗(yàn)裝取樣品需要重新進(jìn)行真空的獲得,非常耗時(shí)。增加了生產(chǎn)和檢測(cè)的成本。
因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng),本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測(cè)試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長(zhǎng)和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
真空鍍膜機(jī)工作的環(huán)境要求:
真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。真空對(duì)環(huán)境的要求,一般包括真空設(shè)備對(duì)所處實(shí)驗(yàn)室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求,和對(duì)處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。
這兩個(gè)方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用;而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣,要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。眾所周,油封式機(jī)械泵不宜抽除對(duì)金屬有腐蝕性、對(duì)真空油其反應(yīng)的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當(dāng)大量抽除可凝性氣體時(shí),對(duì)泵油的污染會(huì)更加嚴(yán)重,結(jié)果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
長(zhǎng)期回收真空鍍膜機(jī)鍍膜生產(chǎn)線設(shè)備。
真空鍍膜工藝在信息存儲(chǔ)范疇中的運(yùn)用薄膜資料作為信息記載于存儲(chǔ)介質(zhì),有其得天厚的優(yōu)勢(shì):因?yàn)楸∧ず鼙∧軌蚴韬鰷u流損耗;磁化回轉(zhuǎn)極為敏捷;與膜面平行的雙穩(wěn)態(tài)狀況簡(jiǎn)單保持等。為了更精細(xì)地記載與存儲(chǔ)信息,必定要選用鍍膜技能。
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