理化指標(biāo)中較重要的是電導(dǎo)率和高錳酸鉀消耗量。電導(dǎo)率是純凈水的特征性指標(biāo)，反映的是純凈水的純凈程度以及生產(chǎn)工藝的控制好壞。由于生活飲用水不經(jīng)過去離子純化的過程，因此是不考察此項(xiàng)指標(biāo)的。而對(duì)于純凈水來說“純凈”是其基本的要求，金屬元素和微生物過高，都會(huì)導(dǎo)致電導(dǎo)率偏高。所以，電導(dǎo)率越小的水越純凈。

微生物指標(biāo)在國標(biāo)中規(guī)定了菌落總數(shù)、大腸菌群、致病菌和霉菌、酵母菌4項(xiàng)。從近幾年對(duì)純凈水檢測的情況看，微生物指標(biāo)是比較容易超標(biāo)的指標(biāo)之一。這是由于微生物污染體現(xiàn)在純凈水在生產(chǎn)加工、運(yùn)輸和銷售過程等各個(gè)環(huán)節(jié)上。在生產(chǎn)加工中，工人不注意個(gè)人衛(wèi)生，回收瓶的清洗、消毒不嚴(yán)格，甚至一些廠家為降低成本，回收瓶蓋再次使用，由于回收瓶蓋的變形，造成瓶口不密封都有可能引起微生物污染。微生物的超標(biāo)反映出水的污染程度。其中大腸桿菌達(dá)到一定指標(biāo)，會(huì)引起人體腹瀉。致病菌包括沙門氏菌、志賀氏菌、金黃色葡萄球菌和乙型鏈球菌。沙門氏菌、志賀氏菌污染的水會(huì)引起急性腸道傳染病，出現(xiàn)腹瀉發(fā)熱等癥狀；金黃色葡萄球菌產(chǎn)生的腸毒素會(huì)引起人體中毒，出現(xiàn)急性胃腸道癥狀，甚至危及生命；乙型鏈球菌則是造成人體化膿性炎癥的主要病原菌；霉菌和酵母菌普遍分布于自然界，在食物中生長的霉菌在繁殖過程中吸取了食品的營養(yǎng)成分使食品的營養(yǎng)價(jià)值降低，并且散發(fā)異味，影響食品的感官，尤其是霉菌生長的過程中產(chǎn)生的毒素會(huì)引起人體慢性中毒，嚴(yán)重者會(huì)導(dǎo)致癌癥。

在純水的制作中，水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子（微電子）元器件（或材料）的生產(chǎn)工藝而定（如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

在高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí)，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。

高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。

高純水不能作為飲用水的原因主要是，天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產(chǎn)過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過程中，加入了一些化學(xué)殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。