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純凈水的工藝嚴苛，特別是反滲透技術(shù)是當今、節(jié)能有效的膜分離技術(shù)。初用于海水淡化，其孔徑非常微小，僅為10-10，它能分離溶液中離子范圍和分子量幾百的有機物，去除水中的溶解的鹽類、膠體、微生物、有機物等，從而獲得純凈的、安全的水。
在純水的制作中，水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子（微電子）元器件（或材料）的生產(chǎn)工藝而定（如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術(shù)的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
在高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。
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