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感觀指標包括色度、濁度、臭味、肉眼可見物。這幾個指標是純凈水質量控制中基本的指標，其制定的標準值參照了飲用水（即自來水）的標準，而大多廠家生產純凈水的水源是自來水，又經過粗濾、精濾和去離子凈化的流程，因此，一般純凈水都能達到國家標準所要求的數值。
理化指標中較重要的是電導率和高錳酸鉀消耗量。電導率是純凈水的特征性指標，反映的是純凈水的純凈程度以及生產工藝的控制好壞。由于生活飲用水不經過去離子純化的過程，因此是不考察此項指標的。而對于純凈水來說“純凈”是其基本的要求，金屬元素和微生物過高，都會導致電導率偏高。所以，電導率越小的水越純凈。
從學術角度講，純水又名高純水，是指化學純度的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質含量低達到“微克/升”級。
在純水的制作中，水質標準所規(guī)定的各項指標應該根據電子（微電子）元器件（或材料）的生產工藝而定（如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
高純水的水質標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據有：1.微電子工藝對水質的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測技術的現狀。
高純水不能作為飲用水的原因主要是，天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在生產高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。
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