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在純水的制作中，水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子（微電子）元器件（或材料）的生產(chǎn)工藝而定（如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術的復雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。
在高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。
高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對水質(zhì)的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測技術的現(xiàn)狀。
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