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一種連續(xù)拉晶單晶爐背景技術(shù)：目前，大多數(shù)單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法，通常是生產(chǎn)完一爐后，等單晶爐冷卻后，再往主爐室坩堝內(nèi)裝料，進(jìn)行下一次生產(chǎn)，這樣既浪費(fèi)了時(shí)間，又造成了熱量的流失，且在拉晶棒的過(guò)程中，不能進(jìn)行補(bǔ)料操作，在拉晶棒的后期階段，會(huì)因?yàn)楣枇现心承┰氐膿]發(fā)而影響晶棒后半部分的質(zhì)量。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種連續(xù)拉晶單晶爐，它可以連續(xù)加料、連續(xù)化料，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉晶，選用合適的主爐室坩堝可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒，減少了冷卻、拆爐、裝爐的時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，也減少了熱量的流失。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種連續(xù)拉晶單晶爐，它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅(qū)動(dòng)裝置和上驅(qū)動(dòng)裝置，所述主爐室和下驅(qū)動(dòng)裝置均安裝在底座上，

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美國(guó)國(guó)外以美國(guó)KAYEX為代表，生產(chǎn)全自動(dòng)硅單晶體生長(zhǎng)爐。KAYEX是目前世界上，進(jìn)的硅單晶體生長(zhǎng)爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場(chǎng)，已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長(zhǎng)的硅晶體生長(zhǎng)爐從抽真空－檢漏－熔料－引晶－放肩－等徑－收尾到關(guān)機(jī)的全過(guò)程由計(jì)算機(jī)實(shí)行全自動(dòng)控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好，直徑偏差在單晶全長(zhǎng)內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶硅爐回收品牌種類：85型華盛天龍單晶爐，漢虹，北京京運(yùn)通，浙江晶盛，北京京儀，常州華盛天龍，常州江南電力，寧夏晶陽(yáng)，美國(guó)KEYEX，西安理工，溫州永泰，中電48所，北京有色院，晨華，錦州電爐，沈陽(yáng)麥科,華盛天龍,晶盛機(jī)電,漢虹,晶龍,西安理工,七星華創(chuàng),創(chuàng)聯(lián),祺科,永泰,世宗,江南電力等品牌單晶爐回收。

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