硅單晶主要技術(shù)參數(shù)有導(dǎo)電類型、電阻率與均勻度、非平衡載流子壽命、晶向與晶向偏離度、晶體缺陷等。
導(dǎo)電類型 導(dǎo)電類型由摻入的施主或受主雜質(zhì)決定。P型單晶多摻硼,N型單晶多摻磷,外延片襯底用N型單晶摻銻或砷
硅料回收具有很高的經(jīng)濟(jì)價值和環(huán)境價值。
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