無(wú)塵車(chē)間組成部分
一、結(jié)構(gòu)部分
1.彩鋼板圍護(hù)、吊頂、回風(fēng)柱、回風(fēng)墻：巖棉板；吊頂用手工板、墻體用機(jī)制板；鋼板厚度：376、426、476、500等,所有板密度達(dá)到12kg/㎡以上，方可承重。
2.鋁型材：T型吊梁、內(nèi)圓弧、外圓弧、槽鋁、角鋁（均為6m一條）、內(nèi)圓接角、外圓接角等，潔凈用的鋁型材需要有涂層防酸堿腐蝕。
3.門(mén)窗：彩鋼板門(mén)、彩鋼板活動(dòng)門(mén)、玻璃視窗。
4.風(fēng)淋室、傳遞窗。
5.地板：防水層、環(huán)氧地板（2mm----3mm厚度，加防靜電粉用于防靜電）、PVC地板（2mm和3mm兩種厚度、450mm*450mm和600mm*600mm兩種規(guī)格）、高架地板（百級(jí)用，下刷環(huán)氧地板）
二、暖通部分
1.空調(diào)設(shè)備：
（1）風(fēng)冷機(jī)組、水冷機(jī)組：風(fēng)冷可以致熱，水冷不能致熱；水冷機(jī)組需要用到水泵、膨脹水箱等。
（2）風(fēng)量單位：CMH（每小時(shí)每平方米面積上通過(guò)的風(fēng)量）
（3）冷量單位：KW千瓦或匹：1匹=2000大卡×1.16＝2324W，1匹空調(diào)的制冷面積大概為11-17平方米。
（4）不同級(jí)別凈化車(chē)間換氣次數(shù)：
百級(jí)：200—300次/小時(shí)（高架地板、層流）
千級(jí)：50—60次/小時(shí)
萬(wàn)級(jí)：30—35次/小時(shí)
十萬(wàn)級(jí)：15—20次/小時(shí)
（5）DDC：溫度濕度控制器，探頭在車(chē)間中檢測(cè)，若與設(shè)定溫濕度發(fā)生偏差，則自行調(diào)節(jié)。
2.風(fēng)管風(fēng)口
（1）鍍鋅鋼板風(fēng)管： 1.2m寬的主風(fēng)管用1.2mm厚的鋼板，0.8----1.0m寬的用1.0mm或0.8mm厚度，薄部分一般用0.6mm厚度鋼板；
（2）送風(fēng)口：一般按照風(fēng)量來(lái)算，比如1200CMH，有垂直送風(fēng)的，有側(cè)送風(fēng)的；
（3）PEF保溫：一般都用2.0cm-------3.0cm厚度的保溫材料包裹風(fēng)管，若低于2.0cm則保溫效果差。水管保溫的話(huà)用PEF保溫管殼。
3. 空調(diào)水管：只針對(duì)水冷機(jī)組
三、給排水部分
生產(chǎn)車(chē)間普通設(shè)備用水，涉及到水泵、水管、水箱等。
四、電氣部分
1.配電柜：照明、設(shè)備動(dòng)力等；
2.潔凈燈具；
3.銅芯電線；
4.電氣配件。
五、純水系統(tǒng)
1.每小時(shí)用水量：m3/h；
2.水質(zhì)（用水級(jí)別）：一般以25℃下的電阻率唯判定標(biāo)準(zhǔn)，如18MΩ@25℃。（1級(jí)水>10MΩ；2級(jí)水>1MΩ；3級(jí)水>0.2MΩ）；
3.純水接機(jī)器還是取水機(jī)；
4.水源：自來(lái)水、井水、河水等。
六、廢氣處理系統(tǒng)
1.氣體性質(zhì)：酸氣、堿氣、有機(jī)氣、熱氣、污染性氣體、有毒性氣體等。
七、特氣系統(tǒng)
八、空壓系統(tǒng)

無(wú)塵車(chē)間的分類(lèi)：
1.亂流式（Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)1,級(jí)。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無(wú)塵室之?dāng)U充比較容易，在某些用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵室等級(jí)。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制
程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
2.層流式（Laminar)
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
3.復(fù)合式（Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
⑶并裝局部無(wú)塵室（Clean Spot）：將無(wú)塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。
潔凈工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。

無(wú)塵車(chē)間的構(gòu)成：
一般情況下，無(wú)塵車(chē)間是指器械生產(chǎn)和檢驗(yàn)所需的工作環(huán)境，對(duì)于生產(chǎn)環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與生產(chǎn)產(chǎn)品工藝流程相對(duì)應(yīng)的功能間，如注塑間、干燥間等；對(duì)于檢驗(yàn)環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與檢驗(yàn)有關(guān)的功能間，如陽(yáng)性對(duì)照間、無(wú)菌檢驗(yàn)間和微生物限度間等；為生產(chǎn)服務(wù)的功能間，如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過(guò)渡通道。
無(wú)塵車(chē)間的氣流組織形式是實(shí)現(xiàn)潔凈環(huán)境的重要措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車(chē)間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋?zhuān)凶龇菍恿鞣绞剑▉y流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過(guò)地平面排出叫垂直層流式，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對(duì)面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇?。亂流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化。
無(wú)塵車(chē)間的氣流應(yīng)滿(mǎn)足潔凈度和人體健康的要求，如關(guān)鍵工作操作點(diǎn)應(yīng)位于潔凈空氣流的上風(fēng)側(cè)，對(duì)散發(fā)有害物質(zhì)的工作點(diǎn)，人的頭部應(yīng)避免在其空氣流正對(duì)的下風(fēng)側(cè)。應(yīng)使無(wú)塵車(chē)間氣流流
向單一。非單向流無(wú)塵車(chē)間內(nèi)設(shè)置操作臺(tái)時(shí)，其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。產(chǎn)品也不應(yīng)擺放在回風(fēng)口附近，因?yàn)榛仫L(fēng)口處的潔凈度比較差?；仫L(fēng)口應(yīng)均勻布置在無(wú)塵車(chē)間的下部，高度應(yīng)低于工作臺(tái)面。無(wú)塵車(chē)間內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時(shí)，其位置應(yīng)設(shè)在工作室氣流的下風(fēng)側(cè)，以免氣流短路。

無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮的幾個(gè)特性：
（1）耐久性：
凈化車(chē)間要有符合環(huán)境、凈化車(chē)間內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時(shí)也依賴(lài)無(wú)塵車(chē)間等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。
（2）清洗：
在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無(wú)塵車(chē)間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過(guò)毒或的污染之特性。在市場(chǎng)，清洗真正地是一個(gè)重要的企業(yè)。
（3）適應(yīng)性：
一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián)，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致的損失。擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變的關(guān)鍵，所以他們從不將初的設(shè)計(jì)定型。
（4）維護(hù)性：
對(duì)無(wú)塵車(chē)間而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過(guò)濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開(kāi)來(lái)，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其嚴(yán)格地過(guò)濾粒子，故其設(shè)計(jì)。

無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)方案注意事項(xiàng)：
1.凈化車(chē)間設(shè)計(jì)內(nèi)容有合理布置工藝流程和建筑平面；
2. 選擇滿(mǎn)足凈化車(chē)間特點(diǎn)的建筑構(gòu)造和材料；
3. 凈化車(chē)間設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)當(dāng)時(shí)當(dāng)?shù)氐哪茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟(jì)的冷、熱源；
4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng)；
5. 選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備； 無(wú)論是新建還是重新改造的無(wú)塵車(chē)間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。

無(wú)塵車(chē)間防火和疏散：
1、潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。吊頂材料應(yīng)為非燃燒體， 其耐火極限不宜小于0．25小時(shí)。
2、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)一般的生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，可按附錄三進(jìn) 行分類(lèi)。
3、甲、乙類(lèi)生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間 大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為3，000平方米，多層廠房應(yīng)為2，000平方米。
4、甲、乙類(lèi)生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類(lèi)生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈廠房， 其頂棚和壁板（包括內(nèi)部填充物）應(yīng)為非燃燒體。
5、在一個(gè)防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域 之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小 時(shí)，隔墻上的門(mén)窗耐火極限不應(yīng)低于0．6小時(shí)。穿過(guò)隔墻或頂板的管線周?chē)障?應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。

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