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背壓法
背壓法氦質(zhì)譜檢漏檢漏過程主要包括三個步驟:充壓、凈化、檢漏
1)充壓:將被檢件放入充氦箱,充入一定壓力的氦氣,在規(guī)定的加氦時間內(nèi),如果被檢件有漏孔,示漏氣體會通過漏孔進入到被檢件內(nèi)部。隨著時間的增加和充壓壓力的提高,這個被檢件內(nèi)部的示漏氣體分壓也會逐漸升高。
2)凈化。用干燥氮氣或干燥空氣吹除被檢件表面殘存的氦氣。如果被測件表面存在油脂或者水汽等異物,會導(dǎo)致氦媳婦,影響漏率測量。這個過程中,會有部分示漏氣體從被檢件內(nèi)經(jīng)漏孔流失,導(dǎo)致被檢件內(nèi)部示漏氣體分壓力下降。因此凈化階段時間越長,示漏氣體的分壓將越大。
3)檢漏。在規(guī)定的時間內(nèi),放入測試室,用氦質(zhì)譜檢漏儀測定被檢件漏率。
背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應(yīng)兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。