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實(shí)際上就目前而言,絕大多數(shù)半導(dǎo)體材料生產(chǎn)過程中都會(huì)用到超純水系統(tǒng)清理,各個(gè)部位產(chǎn)品工件跟水直接使用觸碰,未經(jīng)處理的水中的雜質(zhì)也會(huì)降低設(shè)備性能進(jìn)而影響出產(chǎn)量。***生產(chǎn)中水的品質(zhì)是半導(dǎo)體制造的重要一步。大家傳統(tǒng)超純水系統(tǒng)生產(chǎn)工藝流程一般是采用陰離子樹脂交換設(shè)備,此項(xiàng)加工工藝有著一定的缺點(diǎn),便是環(huán)氧樹脂使用過一段時(shí)間之后要進(jìn)行再造,而隨著近幾年來(lái)膜分離設(shè)備的走向成熟有關(guān)工藝技術(shù)的發(fā)展,大家慢慢擺脫了前面一種逐漸接受新的反滲透工藝。整套設(shè)備出水電導(dǎo)率能夠達(dá)到0.5千歐~18.25千歐。
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